دايهين SR-204333 جهاز RF المتوافق

دليل المنتج：

دايهين SR-204333 جهاز RF المتوافق
مقدمة: DAIHEN SR-204333 is a semiconductor machine 5kW/13.56MHz automatic RF matching device.
Standard 13.56MHz frequency band, rated 5 kW power output
Fast automatic tuning, stable plasma cavity impedance
Reduce reflected power and protect the RF power supply host
Built in water-cooled heat dissipation, high load for a long time without high temperature
Copper RF channel with low power transmission loss
Communication interface directly connected to the main control of the machine, real-time data transmission
Real time monitoring of standing waves and temperature, immediate alarm for abnormalities

Multiple safety protections against overheating, التيار الزائد, and high standing waves
Precision adjustable capacitors and inductors with high matching accuracy
Power off to retain process parameters, restart without recalibration required
All metal sealed shell, مناسبة لورش العمل النظيفة الخالية من الغبار
Standardized RF and communication interfaces, من السهل تفكيكها وتجميعها
مكافحة التدخل الكهرومغناطيسي, stable operation of multiple RF devices in the same cabinet
هيكل متكامل مدمج, توفير مساحة تركيب الخزانة
Original factory compatible TEL etching and coating equipment, compatible with machines
خاتمة: DAIHEN SR-204333 has fast matching response and stable operation, making it a core RF spare part for semiconductor plasma processes.

صور مفصلة للمنتج：

SR-204333

فيديو المنتج

روابط أخرى

1وحدة العرض VCR007346 G0032
ECELESCO PT801-0005-611-1212 Position Converter
ELAU SR-058/60/005/P0/21/S1/B0/T servo motor

روابط أخرى

دي إس إم بي-01C 3AFE64691929 لوحة إمداد الطاقة
دي إس إم بي-02C 3AFE64666606 لوحة إمداد الطاقة
برنامج هيما ELOPII