كاواساكي 50607-1223 وحدة تحكم الروبوت
دليل المنتج:
كاواساكي 50607-1223 وحدة تحكم الروبوت
Kawasaki Semiconductor Wafer Handling Robot Dedicated Servo Control Unit
Integrated multi axis servo drive, high positioning accuracy for wafer picking and placing
Fully digital closed-loop control, smooth and vibration free motion
Multi channel optical isolation IO, connected to vacuum chamber sensor
Support demonstration programming and can store multiple sets of handling programs
Built in EtherCAT communication, connected to the main control system of the entire machine
غلاف معدني مغلق, low release gas suitable for clean vacuum environment
Independent air duct heat dissipation, long-term continuous operation without high temperature
Multiple safety protections including emergency stop, التيار الزائد, الزائد, وارتفاع درجة الحرارة
هيكل إدخال البطاقة المعيارية, سهل التفكيك, صيانة, والاستبدال
Internal circuit gold-plated, stable signal transmission and anti-interference
هيكل التعزيز الزلزالي, able to withstand continuous vibration of the machine
The terminal wiring is clear, and troubleshooting is simple and intuitive
حجم صغير, توفير مساحة التثبيت داخل الخزانة
Used in conjunction with Kawasaki TS series wafer transfer robotic arm
ملخص: كاواساكي 50607-1223 has precise motion control and strong adaptability to cleanliness, making it a core control component for semiconductor wafer handling equipment.
صور مفصلة للمنتج:

50607-1223
فيديو المنتج
روابط أخرى
وحدة تحويل يوكوجاوا ZR402G-M-E-E-A
NI-9205 وحدة الإدخال التناظرية
وحدة واجهة الشبكة GE IC200GBI001
روابط أخرى
KX8974c V24 HIEE320606R1 وحدة إدخال التحكم
وحدة التحكم PMA323BE HIEE300308R1
وحدة PPA322B HIEE300016R2 HIEE400235R1