نيكون 4S013-373-2 وحدة تحكم المحرك الخطي
دليل المنتج:
نيكون 4S013-373-2 وحدة تحكم المحرك الخطي
1. NSR lithography machine dedicated WYL axis linear motor servo drive unit
2. Adaptive lithography worktable linear motion axis closed-loop servo control
3. Read grating ruler signal to achieve nanometer level positioning closed-loop
4. Supports dual mode control of position and speed, with quick motion response
5. بنيت في حماية الأجهزة المتعددة للتيار الزائد, الجهد الزائد, وارتفاع درجة الحرارة
6. Receive the main control command of the machine and output the driving power of the linear motor
7. Installation of board card cabinet slot, compatible with Nikon lithography machine control cabinet
8. وظيفة التشخيص الذاتي للخطأ, إخراج رموز الخطأ لسهولة الصيانة
9. مكونات الصف الصناعي, supporting 24-hour uninterrupted operation of production lines
10. Excellent electromagnetic compatibility, مقاومة للتداخل الكهرومغناطيسي في ورشة العمل
11. Equipped with soft limit protection to prevent mechanical collision of the workpiece table
12. Bus communication, real-time interaction of motion data with the overall controller
13. Driver parameters can be configured through software to adapt to different load conditions
14. High dynamic response to meet the high-speed motion requirements of scanning exposure
15. Used for Nikon NSR series lithography machine worktable displacement drive
Nikon 4S013-373-2 linear motor controller, servo drive board for lithography machine worktable, achieves high-precision linear displacement control.
صور مفصلة للمنتج:

4S013-373-2
فيديو المنتج
روابط أخرى
مفتاح التشغيل SZ4127.000
UFC911B106 3BHE037864R0106 Control Board
UFC921A101 3BHB024855R0101 circuit board
روابط أخرى
IDEC PF3S-PSA2 وحدة واجهة الإخراج
NI PXI-8423 Output interface module
NI SCXI-1124 Output interface module