مبخر شوماخر VG600NI
دليل المنتج:
ميزات منتج المبخر SCHUMACHER VG600NI
مقدمة: SCHUMACHER VG600NI هو مبخر تبخير متخصص لعمليات أشباه الموصلات, مع التحكم الدقيق في درجة الحرارة وإخراج البخار المستقر, مناسبة للتشغيل المستمر في خطوط إنتاج ترسيب الأغشية الرقيقة.
نطاق واسع للتحكم الدقيق في درجة الحرارة, خطأ صغير في تعديل درجة الحرارة
التبخير الموحد للمصدر السائل, تركيز بخار موحد ومستقر
بنيت في وسائل حماية السلامة المتعددة لارتفاع درجة الحرارة, الضغط المنخفض, والتسرب
مادة الغرفة مقاومة للتآكل, مناسبة لمختلف الكواشف الكيميائية الخاصة
مجهزة بلوحة تشغيل LCD, إعدادات المعلمة بديهية وبسيطة
جسم مدمج معياري, تركيب الخزانة يوفر المساحة
واجهة الاتصالات الصناعية القياسية, متوافق مع نظام PLC بأكمله
مراقبة التدفق في الوقت الحقيقي, التعويض التلقائي لإخراج البخار
يقلل هيكل خط الأنابيب المحكم والمقاوم للتسرب من فقدان المواد
قم بتشغيل الفحص الذاتي التلقائي, تحديد أخطاء المعدات بسرعة
بداية مستقرة لدرجة الحرارة المنخفضة, لا توجد مشاكل ارتفاع درجة الحرارة أو الغليان المحلية
متوافق مع العديد من الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات ومعدات عملية النقش
تصميم عزل درجة حرارة ثابتة, خط الأنابيب ليس عرضة للتكثيف وتراكم السائل
غرفة مضادة للتنظيف مع اهتزاز طفيف, ظروف تشغيل مستقرة
يمكن تخزين مجموعات متعددة من صيغ العملية, من السهل تبديل العمليات
خاتمة: يتمتع SCHUMACHER VG600NI بسلامة عالية وسهولة التشغيل والصيانة, وهو عبارة عن معدات دعم أساسية لعمليات الطور الغازي لأشباه الموصلات.
صور مفصلة للمنتج:

VG600NI
فيديو المنتج
روابط أخرى
وحدة تحكم PPC905AE101 3BHE014070R0101 3BHE014071P201
وحدة تحكم UFC921A101 3BHE024855R0101 3BHE024856P201
وحدة التحكم SB822 3BSE018172R1
روابط أخرى
8225-FKM-PVDF-55T-C جهاز إرسال التوصيل الرقمي
قاطع الدائرة GXD-Q18P
مستشعر EC5525PPAP