АЕ 31512411-362 Модуль питания постоянного тока

Руководство по продукту：

АЕ 31512411-362 Модуль питания постоянного тока
1. Pinnacle III series high-power DC plasma power supply unit
2. Three phase 480V AC input, high output power level
3. Support constant voltage and constant current dual-mode closed-loop control
4. Low output ripple and excellent power output stability
5. Adapt to dynamic cavity loads and adaptively adjust impedance
6. Встроенное перенапряжение, сверхток, перегрев, и защита от короткого замыкания
7. Equipped with fault self diagnosis, output corresponding fault codes
8. Support Ethernet communication, upper computer reads and writes process parameters
9. Standard rack mounted cabinet installation, совместимость со шкафами управления оборудованием

10. Air cooled cooling structure, supporting long-term continuous operation of the production line
11. Equipped with soft start function to suppress power on surge current
12. Parameters can be configured through software and adapted to multiple sets of process formulas
13. Good electromagnetic compatibility performance, подходит для чистых помещений с полупроводниками
14. Support parallel connection of multiple machines to achieve power expansion
15. Commonly used in PVD sputtering, bias, and ion implantation processes
АЕ 31512411-362 Модуль питания постоянного тока, a high-power DC power supply equipment for semiconductor processes, provides stable power output for plasma chambers.

Подробные фотографии продукта：

31512411-362

видео о продукте

Другие ссылки

LXN1604-6 3BHL000986P7000 преобразователь мощности
XVC770BE101 3BHE02103R0101 интерфейсная плата
UDC920BE01 3BHE034863R0001 Инвертор высокого напряжения

Другие ссылки

416Модуль ПЛК NHM30030
BENTLY 106M1081-01 Модуль монитора
PCIE-5565-PIORC PCIE-5565PIORC-100000 Карта памяти с отражателем