ЛАМ 853-064887-010 Матчер
Руководство по продукту：
ЛАМ 853-064887-010 Матчер
Специализированное радиочастотное автоматическое согласующее устройство для травильного оборудования Panlin
Регулировка импеданса в реальном времени для уменьшения потерь на радиочастотное отражение
Быстрая настройка на миллисекундном уровне, стабильная плазма полости
Сбор данных об инцидентах и отраженной мощности в режиме реального времени.
Адаптация к нескольким наборам переключения формул машинного процесса
Встроенная защита от перегрузки по току, перегрев, и защита от радиочастотной перегрузки
Металлический закрытый корпус, пыленепроницаемый и устойчивый к коррозии
Внутреннее водяное охлаждение и отвод тепла, непрерывная работа высокой мощности
Регулируемый конденсатор с электроприводом и высокой точностью согласования
Коммуникационная стыковка с основным управлением всей машиной, параметры можно контролировать
Материал с низким газовыделением, подходит для вакуумной очистки окружающей среды
Сейсмостойкая конструкция, способен выдерживать длительную вибрацию оборудования
Стандартная установка в стойку, легкая разборка и обслуживание
Подавление мешающих помех и достижение хорошей согласованности процесса
Совместим с машиной плазменного травления серии LAM.
Краткое содержание: ЛАМ 853-064887-010 имеет быструю скорость настройки радиочастотного соответствия и стабильную работу, что делает его основным компонентом радиочастотной системы для машин для травления полупроводников..
Подробные фотографии продукта：
853-064887-010
видео о продукте
Другие ссылки
РПБА-01 C2500843 Модуль связи
РДКО-03 3Программируемый контроллер AFE64379275
Модуль преобразователя YOKOGAWA ZR402G-M-E-E-A
Другие ссылки
Панель управления PM783F 3BDH000364R0002
AN-X2-AB-DHRIO Коммуникационный модуль
KX8974c V24 HIEE320606R1 Модуль ввода управления
