MKS AS00373-03 Control Panel Module
Руководство по продукту：
MKS AS00373-03 Control Panel Module
Введение: MKS AS00373-03 is a dedicated original control panel module for semiconductor vacuum equipment, responsible for regulating gas and vacuum parameters, and ensuring stable operation and adaptation to cleanroom process equipment.
Integrated multi-channel signal acquisition, synchronized monitoring of pressure and flow process data
Equipped with operation buttons and status indicator lights, on-site debugging is intuitive and convenient
Equipped with standard communication interface, it can interface with the main control system of the device to transmit data
Встроенная программа управления с обратной связью., precise adjustment of vacuum and gas flow parameters
Многоконтурная защита, effective protection against overvoltage, короткое замыкание, и статическое электричество
Металлический герметичный корпус, пылезащитный и анти-электромагнитный помех, стабильные условия труда в цеху
Небольшая модульная конструкция, easy and effortless disassembly and replacement inside the cabinet
Independent signal isolation circuit to avoid signal crosstalk affecting control accuracy
Поддержка переключения между местным ручным и дистанционным автоматическим режимами управления.
Промышленные устройства с широким температурным диапазоном, normal operation around high and low temperature equipment chambers
Оригинальные заводские стандартные клеммы проводки, firmly plugged in and not easily accessible for faults
Встроенная программа самопроверки неисправностей., quick location and prompt for abnormal states
Compatible with MKS flowmeter and vacuum gauge for coordinated control
Схема малой мощности, низкое тепловыделение при длительной непрерывной работе
Factory full load aging calibration, высокая согласованность параметров управления
Заключение: MKS AS00373-03 has high control accuracy and strong compatibility, and is a specialized control accessory for repairing and replacing semiconductor coating and etching vacuum equipment.
Подробные фотографии продукта：
AS00373-03
видео о продукте
Другие ссылки
ЛАМ 810-073479-215 плата управления
Бентли 3500/91-02-00 190782-01 Модуль коммуникационного шлюза
PPD117A3011 3BHE030410R3011 Модуль контроллера возбуждения
Другие ссылки
PP846A 3BSE042238R2 Operation panel
PPD115A102 3BHE017628R0102 Control module
EPRO PR6423 Удлинитель
