Модуль контроллера каналов MKS EPCA-24592
Руководство по продукту：
Модуль контроллера каналов MKS EPCA-24592
Введение: MKS EPCA-24592 is a dual channel control board for semiconductor equipment, suitable for precise control of gas flow and pressure units, and commonly used spare parts for equipment maintenance.
EPCA-24592 dual channel independent control, two parameters do not interfere with each other
Multiple sets of serial communication interfaces for connecting flow meters and pressure sensors
Onboard digital display screen, real-time reading of channel operation values
Одноканальный независимый индикатор, quickly locate channel faults
Built in optocoupler isolation circuit to resist electromagnetic interference in clean workshops
Pre filtering circuit to eliminate clutter and avoid control misoperation
Стандартная структура сменной карты, easy and fast rack insertion and replacement
Металлическая защитная оболочка, пыленепроницаемый и влагозащищенный, suitable for dust-free working conditions
Компоненты промышленного класса, supporting 24-hour uninterrupted continuous operation
Closed loop precise adjustment, stable flow and pressure control accuracy
Multi channel digital input/output, linked device safety interlock circuit
Compact card type, экономия места для установки внутри шасси
Factory calibrated control parameters, нет необходимости в сложной доводке на машине
Широкий диапазон температур и стабильная работа, подходит для высоких и низких температур в мастерской
Same model interchangeable, no need to modify the original circuit
Заключение: MKS EPCA-24592 is commonly used for gas path control in TEL etching and deposition equipment, with stable and durable regulation and easy maintenance.
Подробные фотографии продукта：
EPCA-24592
видео о продукте
Другие ссылки
ВУДВОРД 8280-423 Цифровой модуль управления
Epro CON041/912-015 Signal Converter
3BHB040288R0001 Терминальный блок
Другие ссылки
БЕНТЛИВО 3500/53 133388-01 Карта монитора
KOLLMORGEN 60WKS-CE240/22PB Модуль драйвера
ABSOLUTE API4380-G Изолятор сигналов
