ТЕЛ 2L87-085048-V1 Контроллер отопления
Руководство по продукту:
ТЕЛ 2L87-085048-V1 Контроллер отопления
Введение: TEL 2L87-085048-V1 is an original temperature control heating controller for Tokyo Electronic Semiconductor Etching Equipment, which accurately controls chamber heating and is suitable for continuous process operation in clean rooms.
Built in PID constant temperature algorithm, with minimal temperature fluctuations to ensure stable wafer processing
Multi channel temperature acquisition channel, capable of connecting multiple sets of thermocouple sensors
Controllable power output, smooth adjustment of heating wire heating rate
Integrated multiple safety protections against overheating, сверхток, и короткое замыкание
Onboard EMI filtering circuit to isolate electromagnetic signal interference in the workshop
Independent signal isolation circuit, temperature measurement data without clutter offset
Standard equipment communication interface, real-time upload temperature data to the main control of the whole machine
Equipped with self check for faults, quickly locate heating faults with abnormal codes
Небольшая модульная конструкция, легкая и легкая разборка и замена шкафов
Промышленное устройство с широким температурным элементом, stable high and low temperature operation around the cavity
Оригинальные заводские стандартные клеммы проводки, firmly plugged in to reduce poor contact
Схема малой мощности, контролируемое повышение температуры при длительной эксплуатации
Металлический усиленный корпус, dustproof and seismic resistant, in compliance with cleanroom standards
Единый установочный размер, can directly replace old controllers of the same model
Factory full load temperature calibration, high consistency of temperature control parameters
Заключение: TEL 2L87-085048-V1 has precise temperature control and complete protection, and is a special control accessory for replacing the original semiconductor process chamber heating system.
Подробные фотографии продукта:

2L87-085048-V1
видео о продукте
Другие ссылки
Б&Р 5АП981.505-01 Панель автоматики
Коммуникационный модуль GE IC695CPE305LT-ABAD
Модули контроллера Berghof CE3CPU-1131
Другие ссылки
СОВРЕМЕННЫЙ модуль MODHUB-16E
Кабель P0926КП
Процессорный модуль PM511V16 3BSE011181R1