Актуатор НДС А-2352575
Руководство по продукту：
НДС А-2352575 — прецизионный привод для полупроводниковых вакуумных клапанов., с быстрым открытием и закрытием, надежная герметизация, и подходит для камер травления в высоком вакууме. Его характеристики следующие:
1. НДС А-2352575 интегрированная компактная конструкция, установка в чистом помещении занимает мало места
2. Высокая скорость реакции при вождении, короткое время аварийного отключения, и предотвращение рефлюкса технологических газов
3. Встроенная высокоточная обратная связь по положению, точный и стабильный контроль открытия клапана
4. Специальное антиосаждающее покрытие уменьшает прилипание побочных продуктов процесса и обеспечивает длительный цикл технического обслуживания.
5. Коррозионностойкое уплотнение FFKM, подходит для различных агрессивных технологических газов
6. Множественная самоблокирующаяся конструкция, автоматическое закрытие клапана при отключении электроэнергии, с защитой от сбоев
7. Конструкция уплотнения с низкой утечкой, Скорость утечки соответствует полупроводниковым стандартам высокого вакуума
8. Металлическая защитная оболочка, устойчив к плазменным электромагнитным помехам в резонаторе
9. Модульная конструкция разборки и сборки позволяет производить самостоятельную замену приводов без разборки корпуса клапана.
10. Совместим со стандартными вакуумными фланцами и спецификациями основных вакуумных трубопроводов.
11. Стабильная работа в широком диапазоне температур., отсутствие задержки в действии условий работы камеры при высоких и низких температурах
12. Встроенная защита от перенапряжения и перегрузки для предотвращения повреждения механизма, вызванного перегрузкой.
13. Конструкция передачи с низким коэффициентом трения, длительный срок службы после миллионов циклов
14. Стандартизированный сигнальный интерфейс, возможность удаленного управления основной системой управления оборудованием через док-станцию
15. Оснащен вакуумными задвижками серии НДС и быстрозапорными клапанами., используется для оборудования для травления и нанесения покрытий на пластины
окончание
Актуатор НДС А-2352575 быстро открывается и закрывается., герметичен и устойчив к коррозии, и является основным движущим компонентом полупроводниковых вакуумных технологических трубопроводов..
Подробные фотографии продукта：
А-2352575
видео о продукте
Другие ссылки
РЕКСРОТ VT-HNC100-1-22W-08-С-0 Сервоконтроллер
GE 3509301007768 Модуль управления платой
Модуль управления платой GE V7768-320000
Другие ссылки
РЕКСРОТ VT-HNC100-1-22W-08-С-0 Сервоконтроллер
GE 3509301007768 Модуль управления платой
Модуль управления платой GE V7768-320000
