ضخم 0010-02977 جهاز مطابقة الترددات اللاسلكية

دليل المنتج：

الميزات الرئيسية (15 نقاط)
AMAT original PVD dedicated, compatible with Sub Zero BESC cavity, توافق قوي.
13.56MHz standard RF frequency, matched with mainstream semiconductor sputtering power supply.
Automatic impedance matching network, real-time dynamic tuning, millisecond level response.
50 Ω standard impedance, seamlessly integrated with RF power supply/cavity.
Maximum power processing of 3kW, meeting the requirements of high-power sputtering process.
Built in high-precision V/I sensor for precise monitoring of reflected power.
Closed loop stepper motor drive, automatic adjustment of variable capacitance, stable matching.
Low reflection design, suppresses standing waves, and protects the RF generator and cavity.
Vacuum chamber side installation, هيكل مدمج, الأسلاك البسيطة.
Industrial grade water-cooled heat dissipation, long-term stable operation under high power.
Multiple fault protection: الجهد الزائد, التيار الزائد, ارتفاع درجة الحرارة, standing wave protection.
Compatible with Endura platform, specifically designed for PVD (TiN/Al/Cu) process.
Original factory spare parts standard, يمكن استبدالها مباشرة, من السهل الحفاظ عليها.
All metal shielding, good EMI/RFI suppression, قوية مضادة للتدخل.
Semiconductor FAB certification, cleanroom level adaptation, عمر طويل.

صور مفصلة للمنتج：

0010-02977

فيديو المنتج

روابط أخرى

وحدة التحكم CI546 3BSE012545R1
وحدة التحكم إيمرسون 1C31222G01
Honeywell 8C-PCNT02 51454363-275监测模块

روابط أخرى

وحدة الطاقة CI860K01 3BSE032444R1
قطاع دارة GE TB43225AF14
حامي الدائرة GE TBC4340F14G