ضخم 0090-05537 تحكم التدفق
دليل المنتج:
ضخم 0090-05537 عبارة عن وحدة تحكم في التدفق الشامل MFC لتطبيقات آلات أشباه الموصلات, الذي يتحكم بدقة في معدل تدفق الغاز في العملية
1. ضخم 0090-05537 أصلي متوافق مع معدات النقش AMAT وترسيب الأغشية الرقيقة
2. تنظيم PID للحلقة المغلقة, التحكم المستقر في غازات العمليات الخاصة مثل النيتروجين والأرجون
3. دقة قياس التدفق العالية تضمن اتساق عملية الرقاقة
4. ردود فعل الاستشعار المضمنة, تحميل بيانات حركة المرور في الوقت الحقيقي إلى وحدة التحكم الرئيسية
5. مكافحة تدخل البلازما RF, مناسبة لبيئة عملية تجويف الترددات اللاسلكية
6. غرفة نظيفة من الفولاذ المقاوم للصدأ, لا توجد شوائب تلوث الرقاقة
7. تعديل الاستجابة السريعة, لا توجد تقلبات كبيرة في تحويل حركة المرور
8. حماية متعددة من الجهد الزائد والتيار الزائد
9. موصل مسار الغاز القياسي, سهولة تفكيك وتجميع خطوط الأنابيب دون تسرب الهواء
10. واجهة كهربائية مطلية بالذهب, اتصال مستقر أثناء التشغيل على المدى الطويل
11. مزود بمؤشر ضوئي للخطأ, يمكنه تحديد التدفق غير الطبيعي بسرعة
12. يدعم اتصالات الإشارة المزدوجة الرقمية/التناظرية والواجهات مع اللوحات الأم للجهاز
13. مقاومة لدرجات الحرارة ومقاومة للزلازل, مناسبة للإنتاج المستمر 7 × 24 ساعات على خط الإنتاج
14. طلاء اللوحة المضادة للتآكل, مقاومة لتتبع غازات عملية التآكل
15. المكونات الصناعية الأصلية مع انخفاض معدل فشل التشغيل على المدى الطويل
خاتمة: ضخم 0090-05537 لديه تحكم دقيق في التدفق واستقرار قوي, وهو مكون أساسي في دوائر غاز عملية أشباه الموصلات
صور مفصلة للمنتج:

0090-05537
فيديو المنتج
روابط أخرى
DSPU131 3BSE000355R1 وحدة لوحة واجهة الوحدة
عازمة 3500/93 135785-02ج عرض النظام
LTC743CE02 3BHE013299R0002 لوحة التحكم الإلكترونية
روابط أخرى
وحدة توربينات الغاز PQM-T20-C-A
EPRO PR6423/002-001-CN مستشعر اهتزاز العمود
وحدة تحكم DDK SAN3-40 SAN3-40M