AMAT 0090-A1161 RF Controller

دليل المنتج：

AMAT 0090-A1161 RF Controller
مقدمة: AMAT 0090-A1161 is an original RF control board for material etching and deposition equipment, which controls RF power and impedance matching, and stably generates process plasma.
Real time adjustment of RF output power, high power control accuracy
Closed loop automatic impedance tuning to reduce reflected power loss
Real time collection of standing wave, current and other RF operation data
Built in multiple safety interlock protections for overheating, التيار الزائد, ودائرة كهربائية قصيرة
Signal isolation wiring to resist electromagnetic interference in the workshop
Standard backplane slot, direct insertion into the chassis without the need for adapter accessories
المدمج في التحقق من الخطأ الذاتي, quick identification of abnormal codes to locate problems

Communication interface docking with the main control of the whole machine, uploading process parameters
Multi layer shielded PCB, RF signal transmission without clutter distortion
جهاز عنصر درجة الحرارة الصناعية واسعة, عملية مستقرة على المدى الطويل حول التجويف
Metal reinforced structure, مقاومة للزلازل ومقاومة للغبار, مناسبة لورش العمل النظيفة
Standardized wiring terminals for easy disassembly, استبدال, والصيانة
Adapt to the mainstream semiconductor RF process frequency band of 13.56MHz
Original factory uniform size, same model can directly replace old parts
Factory loaded RF aging verification with good process consistency
خاتمة: AMAT 0090-A1161 has stable frequency control and fast matching, making it a core spare part for semiconductor thin film and etching cavity RF systems.

صور مفصلة للمنتج：

0090-A1161

فيديو المنتج

روابط أخرى

وحدات التحكم Berghof CE3CPU-1131
هانيويل 51153818-104 وحدة التحكم
اتصال فينيكس 2864273 مستشعر درجة الحرارة

روابط أخرى

وحدة المعالج PM511V16 3BSE011181R1
SB510 3BSE000860R1 module
SC510 3BSE003832R1 Communication Module