Радиочастотный контроллер AMAT 0090-A1161
Руководство по продукту：
Радиочастотный контроллер AMAT 0090-A1161
Введение: AMAT 0090-A1161 is an original RF control board for material etching and deposition equipment, which controls RF power and impedance matching, and stably generates process plasma.
Real time adjustment of RF output power, high power control accuracy
Closed loop automatic impedance tuning to reduce reflected power loss
Real time collection of standing wave, current and other RF operation data
Built in multiple safety interlock protections for overheating, сверхток, и короткое замыкание
Signal isolation wiring to resist electromagnetic interference in the workshop
Standard backplane slot, direct insertion into the chassis without the need for adapter accessories
Встроенная самопроверка неисправностей, quick identification of abnormal codes to locate problems
Communication interface docking with the main control of the whole machine, uploading process parameters
Многослойная экранированная печатная плата, RF signal transmission without clutter distortion
Промышленное устройство с широким температурным элементом, длительная стабильная работа вокруг полости
Металлическая усиленная конструкция, сейсмостойкий и пыленепроницаемый, подходит для чистых мастерских
Standardized wiring terminals for easy disassembly, замена, и обслуживание
Adapt to the mainstream semiconductor RF process frequency band of 13.56MHz
Оригинальный заводской размер униформы, same model can directly replace old parts
Factory loaded RF aging verification with good process consistency
Заключение: AMAT 0090-A1161 has stable frequency control and fast matching, making it a core spare part for semiconductor thin film and etching cavity RF systems.
Подробные фотографии продукта：
0090-A1161
видео о продукте
Другие ссылки
Модули контроллера Berghof CE3CPU-1131
ХАНИВЕЛЛ 51153818-104 Модуль контроллера
ФЕНИКС КОНТАКТ 2864273 Датчик температуры
Другие ссылки
Процессорный модуль PM511V16 3BSE011181R1
Модуль SB510 3BSE000860R1
SC510 3BSE003832R1 Communication Module
