AMAT 0090-A7121 RF Controller

دليل المنتج：

AMAT 0090-A7121 is a radio frequency (RF) matching controller specifically designed for semiconductor devices using Applied Materials. It is used for impedance matching of plasma chambers in etching/deposition equipment and is a core component of the RF power supply subsystem.
المعلمات الأساسية
نموذج: 0090-A7121
ماركة: ضخم (Applied Materials)
يكتب: RF Matcher Controller
Frequency: 13.56 MHz (semiconductor standard ISM band)
Power adaptation: 5 kW peak/3 kW continuous
Impedance range: 10-2000 أوه, automatic matching accuracy ± 0.1 أوه
وضع التحكم: automatic tuning+manual fine-tuning, millisecond response
مزود الطاقة: DC 24 V ± 10%, power consumption<15 دبليو
Interface: Dedicated backplane bus+RS-485, compatible with Modbus protocol
Cooling: Optional air/water cooling, مناسبة لظروف الغرفة النظيفة
بيئة: 0-60 درجه مئوية, compatible with Class 5 cleanrooms
Compatible devices: Endura/Ventura series PVD and etching machines

صور مفصلة للمنتج：

0090-A7121

فيديو المنتج

روابط أخرى

MOOG D136-001-001 وحدة التحكم المؤازرة الكهروهيدروليكية
GE IC698RMX016 VMIVME-5567-100数字输入输出模块
PFSA140 3BSE003816R1数字输入输出模块

روابط أخرى

GE IS220PSCAH1A وحدة الإدخال/الإخراج التناظرية
3BUS208796-501 Communication Module
GE IS420PUAAH1A Controller Module