أمات 0090-B8460 وحدة تحكم الروبوت
دليل المنتج：
أمات 0090-B8460 وحدة تحكم الروبوت
AMAT 0090-B8460 is a specialized robot controller for 300mm wafer semiconductor equipment in Applied Materials (ضخم), used for vacuum transfer EFEM/Load Port、 Process chamber wafer handling, compatible with AMAT original multi axis robotic arm.
1. المعلومات الأساسية
الشركة المصنعة: Applied Materials (ضخم)
نموذج: 0090-B8460
يكتب: Multi axis robot motion controller (vacuum/atmospheric transmission)
Suitable equipment: 300mm etching, ترسيب, ion implantation machine EFEM、 Vacuum transmission module
2. Hardware specifications
المعالج: Multi core real-time CPU, VME bus architecture
Number of control axes: حتى 6 axes linked (rotation+line+wrist)
مزود الطاقة: DC 24V ± 10%/AC 100-240V wide voltage input
واجهة الاتصالات:
إيثرنت (TCP/IP, upper computer/PLC communication)
SERCOS III (servo bus, high-speed synchronization)
آر إس-232/485 (المنفذ التسلسلي, sensor/IO expansion)
Digital I/O: 32 in/32 out (photoelectric isolation, limit/emergency stop/door interlock)
بناء: 19 inch standard rack mounted, metal dust-proof chassis
بيئة: نطاق درجة الحرارة 5-45 درجه مئوية; رطوبة 10% -90% ر.س (لا التكثيف); Cleanroom Class 1 التكيف
3. الوظائف الأساسية
تحكم متزامن متعدد المحاور: high-speed and smooth trajectory planning for vacuum robotic arm, positioning accuracy ± 0.01mm
Wafer handling logic: picking/placing/pre alignment/anti-collision protection, suitable for thin and brittle 300mm wafers
Safety interlock: توقف الطوارئ, door interlock, soft limit, collision detection (dedicated for vacuum environment)
Real time monitoring and diagnosis: shaft status, درجة حرارة, حاضِر, vacuum degree monitoring, fault code tracing
Teaching and Programming: Supports handheld teaching, offline programming, and program power-off saving
صور مفصلة للمنتج：
0090-B8460
فيديو المنتج
روابط أخرى
هانيويل 05701-أ-0301بطاقة التحكم في الإدخال
هانيويل 05701-أ-0302بطاقة التحكم
07وحدة KR51 1SBP260011R1001CPU
روابط أخرى
ياسكاوا أوساهم-02-محرك سيرفو يعمل بالتيار المتردد TE53
مرحل إدارة المحرك GE SR489-P5-LO-A20-E
إيتون APR24-3G وحدة المعدل
