Контроллер робота AMAT 0090-B8460
Руководство по продукту：
Контроллер робота AMAT 0090-B8460
AMAT 0090-B8460 is a specialized robot controller for 300mm wafer semiconductor equipment in Applied Materials (ОГРОМНЫЙ), used for vacuum transfer EFEM/Load Port、 Process chamber wafer handling, compatible with AMAT original multi axis robotic arm.
1. Основная информация
Производитель: Прикладные материалы (ОГРОМНЫЙ)
Модель: 0090-B8460
Тип: Multi axis robot motion controller (vacuum/atmospheric transmission)
Suitable equipment: 300mm etching, deposition, ion implantation machine EFEM、 Vacuum transmission module
2. Hardware specifications
Процессор: Multi core real-time CPU, VME bus architecture
Number of control axes: До 6 axes linked (rotation+line+wrist)
Источник питания: DC 24V ± 10%/AC 100-240V wide voltage input
Интерфейс связи:
Ethernet (TCP/IP, upper computer/PLC communication)
SERCOS III (servo bus, high-speed synchronization)
РС-232/485 (последовательный порт, sensor/IO expansion)
Digital I/O: 32 in/32 out (фотоэлектрическая изоляция, limit/emergency stop/door interlock)
Structure: 19 inch standard rack mounted, metal dust-proof chassis
Среда: Температурный диапазон 5-45 ℃; Влажность 10% -90% относительной влажности (нет конденсата); Cleanroom Class 1 приспособление
3. Основные функции
Multi axis synchronous control: high-speed and smooth trajectory planning for vacuum robotic arm, positioning accuracy ± 0.01mm
Wafer handling logic: picking/placing/pre alignment/anti-collision protection, suitable for thin and brittle 300mm wafers
Safety interlock: аварийная остановка, door interlock, soft limit, collision detection (dedicated for vacuum environment)
Real time monitoring and diagnosis: shaft status, температура, текущий, vacuum degree monitoring, fault code tracing
Teaching and Programming: Supports handheld teaching, offline programming, and program power-off saving
Подробные фотографии продукта：
0090-B8460
видео о продукте
Другие ссылки
МЕДОВЕЛЛ 05701-А-0301плата входного контроля
МЕДОВЕЛЛ 05701-А-0302контрольная карта
07KR51 1SBP260011R1001CPU模块
Другие ссылки
ЯСКАВА УСАХЕМ-02-Серводвигатель переменного тока TE53
GE SR489-P5-LO-A20-E Motor Management Relay
EATON APR24-3G rectifier module
