أمات AS01225G-03 وحدة تحكم الإدخال/الإخراج
دليل المنتج：
أمات AS01225G-03 وحدة تحكم الإدخال/الإخراج (MKS FI Flow Control Module)
Adapt to AMAT semiconductor thin film, etching equipment gas flow acquisition and valve drive
MKS original factory matching AMAT dedicated I/O flow controller, يمكن استبدال قطع الغيار مباشرة
Multi channel analog+digital hybrid channel, collecting signals from flow meters and pressure sensors
Output control signals to regulate gas valves and stabilize the control of process gas ratios
قناة العزلة الإلكترونية البصرية, high and low voltage signals do not interfere with each other, مكافحة التدخل الكهرومغناطيسي مجلس الوزراء
دمج وسائل حماية الأجهزة المتعددة للتيار الزائد, الجهد الزائد, and overheating to prevent module burnout
Metal integrated packaging, مقاوم للغبار والرطوبة, مناسبة لظروف العمل في ورشة العمل النظيفة
Built in signal filtering circuit to reduce data errors caused by airflow fluctuations
Standard industrial bus communication, real-time uploading of traffic parameters to the equipment master control
ضوء مؤشر حالة اللوحة, intuitive identification of power, تواصل, and flow faults
Reserved testing interface, easy on-site calibration and troubleshooting operation
Industrial wide temperature element devices, stable operation in alternating cold and hot environments of cabinets
Seismic sealing structure, long-term vibration of the production line is not easy to cause signal drift
Support multi-stage gas process formula storage, precise process switching
محطات الأسلاك القياسية, time-saving disassembly and maintenance, and reduced downtime
7 × 24-hour uninterrupted continuous production design, suitable for mass production lines
ملخص: أمات AS01225G-03 is a dedicated flow I/O controller for semiconductor equipment, responsible for gas signal acquisition and valve closed-loop control. It has strong stability and is a core fluid control spare part for thin film/etching chambers.
صور مفصلة للمنتج：
AS01225G-03
فيديو المنتج
روابط أخرى
UAC389AE02 HIEE30088R0002 وحدة تحكم منطقية
سائق ACS600 3BHB011874R0001
TRASFO 3BHB012733R0001 لوحة الحوافز
روابط أخرى
البطاقة الكهربائية لتوربينات الغاز GE IS215UCVEH2AF
GE IS215UCVGH1A C gas turbine electric card
بطاقة VMIVME-7666-111000350-017666-111000 C
