АМАТ AS01225G-03 Контроллер ввода/вывода
Руководство по продукту：
АМАТ AS01225G-03 Контроллер ввода/вывода (MKS FI Flow Control Module)
Adapt to AMAT semiconductor thin film, etching equipment gas flow acquisition and valve drive
MKS original factory matching AMAT dedicated I/O flow controller, запасные части могут быть заменены напрямую
Multi channel analog+digital hybrid channel, collecting signals from flow meters and pressure sensors
Output control signals to regulate gas valves and stabilize the control of process gas ratios
Оптоэлектронная изоляция каналов, high and low voltage signals do not interfere with each other, anti cabinet electromagnetic interference
Интеграция нескольких аппаратных средств защиты от перегрузки по току, перенапряжение, and overheating to prevent module burnout
Metal integrated packaging, пыленепроницаемый и влагозащищенный, suitable for clean workshop working conditions
Built in signal filtering circuit to reduce data errors caused by airflow fluctuations
Standard industrial bus communication, real-time uploading of traffic parameters to the equipment master control
Индикатор состояния панели, intuitive identification of power, коммуникация, and flow faults
Reserved testing interface, easy on-site calibration and troubleshooting operation
Промышленные устройства с широким температурным диапазоном, stable operation in alternating cold and hot environments of cabinets
Seismic sealing structure, long-term vibration of the production line is not easy to cause signal drift
Support multi-stage gas process formula storage, precise process switching
Стандартизированные клеммы для проводки, экономия времени на разборку и обслуживание, и сокращение времени простоя
7 × 24-hour uninterrupted continuous production design, suitable for mass production lines
Краткое содержание: АМАТ AS01225G-03 is a dedicated flow I/O controller for semiconductor equipment, responsible for gas signal acquisition and valve closed-loop control. It has strong stability and is a core fluid control spare part for thin film/etching chambers.
Подробные фотографии продукта：
AS01225G-03
видео о продукте
Другие ссылки
Логический контроллер UAC389AE02 HIEE30088R0002
Драйвер ACS600 3BHB011874R0001
TRASFO 3BHB012733R0001 Поощрительная доска
Другие ссылки
Электрическая плата газовой турбины GE IS215UCVEH2AF
GE IS215UCVGH1A C gas turbine electric card
VMIVME-7666-111000350-017666-111000 C card
