بروكس 002-7090-03 روبوت الرقاقة الجوية

دليل المنتج：

بروكس 002-7090-03 روبوت الرقاقة الجوية
1. EFEM front-end atmospheric wafer handling manipulator
2. جسم نظيف, low particle generation
3. Servo closed-loop, دقة تحديد المواقع عالية
4. Rotating telescopic arm, flexible operating range
5. Smooth movement, reducing wafer shaking
6. Collision detection, instant stop upon touch
7. Adapt to standard wafer loading and unloading operations
8. Can store multiple sets of motion process programs
9. Multi channel I/O docking door control sensor
10. Support communication between the bus and the overall controller
11. Built in wiring, minimal cable wear and tear
12. Support continuous production 24/7
13. فحص ذاتي للخطأ, retain error logs
14. جسم مدمج, saving device space
15. واجهة قياسية, سهولة استبدال قطع الغيار
بروكس 002-7090-03 atmospheric wafer robot is a semiconductor front-end equipment responsible for wafer transfer between the wafer box and the cavity.

صور مفصلة للمنتج：

002-7090-03

فيديو المنتج

روابط أخرى

3CM02148AAE02 Shelf Management Board
لوحة وحدة إعادة التوليد SNRXDZ0AAA
ED-83158-30 وحدة التحكم

روابط أخرى

1756-CNB Communication module
83SR06B-E GJR2395400R1210 وحدة المنطق
جنرال إلكتريك 97590-8 بطاقات التوسعة BD-PCI4PORT