ام كيه اس GHG5013A-002 مولد الترددات اللاسلكية

دليل المنتج：

ام كيه اس GHG5013A-002 مولد الترددات اللاسلكية
1. Solid state RF power architecture, operating frequency 13.56MHz, suitable for semiconductor plasma processes
2. Power closed-loop control ensures stable output power when the load changes
3. 19 inch rack installation, سهل التفكيك, استبدال, and maintenance of cabinets
4. Real time collection of forward power and reflected power, monitoring of load matching status
5. Built in multiple hardware protections for overheating, التيار الزائد, الجهد الزائد, and load mismatch
6. Supports both continuous and pulse RF output modes, with adjustable duty cycle
7. Low harmonic output reduces RF interference on peripheral board signals
8. طريقة تبديد حرارة تبريد الماء, supporting long-term high-power continuous operation

9. The local panel can read operating parameters such as power, إنذار, fault codes, إلخ
10. RS232 communication interface, supporting remote control and parameter reading from the upper computer
11. Comes with fault log storage for easy troubleshooting of process abnormalities
12. Electrical isolation signal interface to reduce external circuit interference and impact
13. 24VDC auxiliary power supply, متوافق مع نظام إمدادات الطاقة خزانة معدات أشباه الموصلات
14. نطاق عمل واسع لدرجة الحرارة, capable of withstanding high temperature environments inside equipment cabinets
15. RF matching device is required for etching and thin film deposition plasma processes
ام كيه اس GHG5013A-002 RF generator, semiconductor process RF power source, used in wafer etching, تنظيف البلازما, and thin film deposition equipment

صور مفصلة للمنتج：

فيديو المنتج

روابط أخرى

3BA23260AAAB اللوحة الضوئية والكهربائية
3ال-00262-وحدة لوحة الدائرة ABAA
3DH03116AAAD10 لوحة واجهة الخط

روابط أخرى

لوحة تحكم ميركو GF1-10TVD-100
لوحة التشغيل PP835 3BSE042234R1
2364-SPM03A Control circuit module