صمام خانق عادم عالي السرعة MKS T3BIA-27092
دليل المنتج：
صمام خانق عادم عالي السرعة MKS T3BIA-27092
مقدمة: MKS T3BIA-27092 صمام خنق ذكي عالي السرعة لأشباه الموصلات, دائرة التحكم في القيادة المتكاملة, التحكم الدقيق في ضغط عادم الغرفة, مناسبة للأغشية الرقيقة وخطوط إنتاج الفراغ.
جسم الصمام يدمج التحكم, يقود, ودوائر الاتصالات, دون الحاجة إلى وحدات تحكم خارجية مستقلة
محرك مباشر عالي السرعة, مفتوحة بالكامل إلى مغلقة بالكامل في غضون 200 مللي ثانية, مع الاستجابة السريعة لتنظيم الضغط
بنيت في خوارزمية PID ذاتية الضبط, مع الحد الأدنى من تجاوز الضغط والاستنساخ المستقر لمعلمات العملية
مستشعر ضغط باراترون متوافق مع قناة مزدوجة, نطاق واسع وتحكم عالي الدقة في ضغط الحلقة المغلقة
يوفر جهاز التشفير تعليقات في الوقت الفعلي على فتحة لوحة الصمام ويقوم بتحميل بيانات الموقع والضغط بشكل متزامن
دعم جهاز نت, RS232, إرساء بروتوكول الاتصالات التناظري متعدد الطبقات مع التحكم الرئيسي
316 جسم صمام من الفولاذ المقاوم للصدأ, مقاومة للتآكل, مناسبة لمختلف بيئات الغاز الخاصة بالعملية
الأختام القياسية المقاومة للمواد الكيميائية, يمكن لجسم الصمام أن يتحمل ما يصل إلى 105 ℃ حالة عمل درجة حرارة ثابتة MKS
بنيت في دوائر تصفية الطفرة وESD, غلاف معدني لمقاومة التداخل الكهرومغناطيسي
مجهزة بأوضاع تحكم مزدوجة للضغط والموضع, دعم البداية الناعمة لمنع الاضطرابات والغبار
مخرج تتابع إنذار مزدوج, ردود فعل فورية لإشارة الخطأ في حالة ظروف العمل غير الطبيعية
تخزين غير متطاير يحفظ معلمات المعايرة, لا حاجة لإعادة المعايرة بعد انقطاع التيار الكهربائي وإعادة التشغيل
هيكل محرك عزم الدوران العالي, عمر خدمة أطول في ظل ظروف الغبار والتآكل
واجهة شفة فراغ القياسية, من السهل تفكيكها وصيانتها, متوافق مع مختلف الغرف
كشف تسربات الفراغ بالمصنع والتحكم في الضغط فحص كامل, قادرة على التشغيل المستمر والمستقر ل 7 × 24 ساعات
خاتمة: يتمتع MKS T3BIA-27092 بسرعة تنظيم الضغط السريعة, دقة تحكم عالية, صيانة مستقرة لضغط فراغ الغرفة, ويقلل من تقلبات العمليات وتكرار الصيانة أثناء التوقف.
صور مفصلة للمنتج：
T3BIA-27092
فيديو المنتج
روابط أخرى
هيما F3226A وحدة الإدخال
PCO 51303940-250 9967296 مكون إنذار المروحة
هانيويل SC-UCMX01 51307195-175 وحدة الإدخال/الإخراج الهجينة
روابط أخرى
5SHY3545L0016 3BHB019719R0101 وحدة الجهد العالي
GVC736BE101 5SXE06-0160 وحدة الثايرستور
وحدة توربينات الغاز IC698CPE020
