ياسكاوا XU-RC350S-J01 روبوت الويفر
دليل المنتج:
ياسكاوا XU-RC350S-J01 روبوت الويفر
1. نقل دقيق بين صندوق FOUP بسكويت الويفر 300 مم وتجويف الآلة
2. الاستيلاء على رقائق السيليكون ونقلها بدون تلامس داخل غرفة قفل الفراغ
3. يتم نقل الرقاقة بسلاسة من منفذ التغذية لمعدات الحفر إلى غرفة المعالجة
4. التحميل والتفريغ التلقائي للرقائق المراد اختبارها داخل معدات اختبار JEOL
5. بيئة نظيفة وخالية من الغبار, معالجة منخفضة الاهتزاز لمنع كسر حافة الرقاقة والخدوش
6. التدفق المستمر ونقل الصفائح بين محطات العمل لمعدات ترسيب الأغشية الرقيقة
7. التحميل والتفريغ الآلي للرقاقات من منافذ آلة الاختبار الكهربائية للرقاقة
8. خط الانتاج القديم, نفس نموذج الذراع الميكانيكية, التفكيك الشامل, استبدال, تصحيح الأخطاء
9. عملية تحديد المواقع الدورانية التلسكوبية ذات السكتة الدماغية الكبيرة داخل غرفة محكمة الغلق
10. مسار حركة تصحيح الأخطاء للمعدات عبر الإنترنت ومعايرة دقة تحديد المواقع المتكررة
11. كوب شفط فراغي، امتصاص مرن مناسب لنقل الرقاقات الرقيقة والكبيرة الحجم
12. محطة تخزين مؤقت داخلية EFEM للتخزين المنظم واسترجاع الرقائق
13. عملية مستقرة ودورية في وضع الإنتاج الضخم طوال اليوم لضمان إيقاع العملية
14. الصيانة الدورية واستبدال الأجزاء سهلة التآكل مثل أعمدة ناقل الحركة وأكواب الشفط
15. عملية النقل الداخلي لعملية التفريغ لرقائق الطاقة من أشباه الموصلات من الجيل الثالث
تم تكييف مناور الرقاقة Yaskawa XU-RC350S-J01 لنقل الرقاقة عالي الدقة في سيناريوهات فراغ خالية من الغبار لأشباه الموصلات, يستخدم للتحميل والتفريغ الآلي لخطوط الإنتاج واستبدال وتشغيل قطع الغيار المعيبة
صور مفصلة للمنتج:

XU-RC350S-J01
فيديو المنتج
روابط أخرى
وحدة إدخال التحليل PP885R 3BSE0692985R1
وودوارد 8200-1302 وحدة تحكم في موضع المؤازرة
وحدة تحكم المعدات الميدانية FOXBORO FDC280 RH101FQ
روابط أخرى
وحدة الاتصالات تريكونيكس 3625A
مفاتيح A4H124-24TX
SYHNC100-NIB-23/W-24-P-D-E23-A012 وحدة التشغيل