Вафельный робот Yaskawa XU-RC350S-J01
Руководство по продукту：
Вафельный робот Yaskawa XU-RC350S-J01
1. Точная передача между коробкой FOUP для пластин диаметром 300 мм и полостью машины.
2. Бесконтактный захват и передача кремниевых пластин внутри вакуумной шлюзовой камеры
3. Пластина плавно перемещается из порта подачи травильного оборудования в технологическую камеру.
4. Автоматическая загрузка и выгрузка пластин для тестирования внутри испытательного оборудования JEOL.
5. Чистая и свободная от пыли окружающая среда, низкая вибрация для предотвращения поломки и царапин кромок стружки
6. Непрерывный поток и транспортировка листов между рабочими станциями оборудования для осаждения тонких пленок.
7. Автоматизированная загрузка и выгрузка пластин из портов машины для электрических испытаний чипов
8. Старая производственная линия, механическая рука той же модели, полная разборка, замена, отладка
9. Телескопическое вращающееся позиционирование с большим ходом внутри вакуумной герметичной камеры.
10. Онлайн-отладка траектории движения оборудования и повторная калибровка точности позиционирования
11. Гибкая адсорбционная вакуумная присоска, подходящая для переноса тонких и крупных пластин.
12. Внутренняя станция кэширования EFEM для упорядоченного хранения и извлечения пластин.
13. Стабильная и цикличная работа в течение всего дня в режиме массового производства для обеспечения ритмичности технологического процесса.
14. Регулярное техническое обслуживание и замена легко изнашиваемых деталей, таких как трансмиссионные валы и присоски.
15. Операция внутренней транспортировки в вакууме для полупроводниковых силовых чипов третьего поколения
Манипулятор пластин Yaskawa XU-RC350S-J01 адаптирован для высокоточного переноса пластин в высокопроизводительных полупроводниковых системах без пыли и вакууме., используется для автоматизированной загрузки и разгрузки производственных линий, а также замены и эксплуатации неисправных запасных частей.
Подробные фотографии продукта：
СЮ-RC350S-J01
видео о продукте
Другие ссылки
PP885R 3BSE0692985R1 Модуль ввода анализа
ВУДВОРД 8200-1302 сервоконтроллер положения
Контроллер полевого оборудования FOXBORO FDC280 RH101FQ
Другие ссылки
TRICONEX 3625A Коммуникационный модуль
Переключатели A4H124-24TX
SYHNC100-NIB-23/W-24-P-D-E23-A012 Модуль драйвера
