АЕ 31550102-044 Модуль контроллера

Руководство по продукту：

АЕ 31550102-044 Модуль контроллера
1. The internal control board of the RF power supply controls the RF power output logic
2. Slot type board, легко подключить, replace and maintain in the cabinet
3. Collect real-time process parameters such as power and reflected power
4. Multi channel IO interface, handling interlocking, тревога, and protection signals
5. Built in hardware protection logic for overcurrent, перегрев, and mismatch
6. Local storage of fault records for easy troubleshooting
7. Bus communication, connecting to the upper computer to achieve remote control

8. Аппаратный сторожевой таймер, automatic reset for abnormal situations to ensure smooth operation
9. Optoelectronic isolation interface to suppress external electromagnetic interference
10. Soft start control to reduce power on surge current
11. 24источник питания постоянного тока, compatible with semiconductor equipment cabinets
12. Широкий диапазон температур, suitable for high temperature conditions inside the equipment
13. Three proof coating, влагостойкий, пыленепроницаемый, vibration and impact resistant
14. Бортовой индикатор, intuitive recognition of operational fault status
15. Compatible with AE series RF generator complete set
АЕ 31550102-044 модуль контроллера, RF equipment main control board, used for internal control of RF power supply in semiconductor plasma process

Подробные фотографии продукта：

31550102-044

видео о продукте

Другие ссылки

3FE51034AGAC Плата сетевого порта
ASF4628BBS7-07 Плата питания постоянного тока
Печатная плата J98726AB-5

Другие ссылки

81EU01E-E GJR2391500R1210 GJR2391511R42 module
KOLLMORGEN AKM42E-EKGNR-01 Servo motor
83SR04C-E GJR2390200R1411 GJR2390211R45 module

1