ОГРОМНЫЙ 0010-013878 RF Matcher

Руководство по продукту：

1、 Основная информация
Manufacturer: Прикладные материалы
Номер детали: 0010-013878 (commonly labeled as 0010-013878 Rev. xx)
Тип: Automatic Impedance Matching Network (RF Match Box)
Applicable machines: AMAT Endura, Centura platform PVD chambers (Preclean II/E, PCI/E)
Функция: Automatically matches RF power supply and plasma load impedance (standard 50 Ω) at 13.56MHz, maximizing power transmission and reducing reflection (VSWR).
2、 Core electrical parameters (typical values of the same series)
Working frequency: 13.56MHz ± 5%
Power Capacity: Continuous 3kW/Peak 5kW
Impedance matching range: 10-2000 Ω, automatic matching accuracy ± 0.1 Ω

Standing Wave Ratio (VSWR): Normal operating condition ≤ 1.5:1
RF interface: 7/16 DIN coaxial (input/output)
Control interface: DB25 (ввод/вывод, RS-232 communication)
Cooling method: Water cooling (flow rate ≥ 6L/min, Δ T<5 ℃)
3、 Structure and Environment
Form: Standard rack mounted (metal shielded chassis, анти-электромагнитные помехи)
Cooling: Water cooling+auxiliary air cooling, suitable for long-term continuous operation in clean rooms
Рабочая температура: 0-50 °С; влажность<80% RH
Cleanliness level: Class 1 (ISO 14644), suitable for semiconductor cleanrooms
Механизм защиты: сверхток, перенапряжение, перегрев, high reflected power, abnormal water cooling, защита от блокировки

Подробные фотографии продукта：

0010-013878

видео о продукте

Другие ссылки

GE IC698PSA100电源适配器模块
GE IC698CHS009插槽式机箱
ДСМБ-01C 64691929控制模块

Другие ссылки

Модуль связи НПБА-82
Плата питания SDCS-PIN-4B
ЛАМ 810-072903-014 Robot Interface Board