ОГРОМНЫЙ 0010-30770 Клапан вакуумного насоса
Руководство по продукту：
ОГРОМНЫЙ 0010-30770 Клапан вакуумного насоса
Введение: ОГРОМНЫЙ 0010-30770 полупроводниковое оборудование оснащено запорным клапаном вакуумного насоса., который используется для изоляции полости от вакуумного насоса и поддержания высокого вакуума..
Конструкция пневматического привода, быстрое и стабильное действие переключателя
Высокоточная уплотнительная конструкция, низкая скорость утечки, изоляция камеры от корпуса насоса
Двойная обратная связь по определению положения, загрузка в режиме реального времени состояния открытия и закрытия клапана
Корпус клапана изготовлен из нержавеющей стали и устойчив к агрессивным технологическим газам.
Чистая полировка, низкое пылеобразование, подходит для вафельной технологии
Выключение самоблокирующейся конструкции, отключение, чтобы предотвратить загрязнение камеры обратным вакуумным потоком
Устойчив к высоким и низким температурным режимам, подходит для длительной эксплуатации и повышения температуры вакуумных насосов
Стандартный фланцевый интерфейс, Совместим с вакуумным насосом оборудования AMAT. Прямая установка.
Встроенная буферная структура, отсутствие влияния на открытие и закрытие, что снижает износ уплотнения
Уплотнение из фторкаучука, устойчивое к коррозии, с длительным сроком службы.
Встроенный порт сигнальной проводки, напрямую подключен к главному управлению оборудованием
Сейсмостойкая внутренняя конструкция, меньше подвержен утечке воздуха во время вибрации машины
Конструкция разборки и сборки проста., а замена и обслуживание уплотнений удобны
Адаптация к вакуумным трубопроводным системам для оборудования для травления и осаждения.
Заводское обнаружение утечек вакуума и испытание на миллион циклов сертифицированы.
Заключение: ОГРОМНЫЙ 0010-30770 has reliable sealing and stable isolation, ensuring the vacuum cleanliness of the chamber and reducing process pollution and downtime maintenance.
Подробные фотографии продукта：
0010-30770
видео о продукте
Другие ссылки
ПКО 51303940-250 9967296 Компонент сигнализации вентилятора
HONEYWELL SC-UCMX01 51307195-175 Гибридный модуль ввода-вывода
Промышленная система управления Motorola MVME167-33B
Другие ссылки
HONEYWELL CC-PCNT02 Analog module
CI546 3BSE012545R1 processor module
NI GPIB-140A totCI546 3BSE012545R1 processor module
NI GPIB-140A total line expander
Модуль KUC720AE01 3BHB003431R0001 3BHB000652R0001al line expander
