ASTeX AX3060-14 РЧ-согласователь
Руководство по продукту：
ASTeX AX3060-14 РЧ-согласователь
1. ASTeX AX3060-14 Semiconductor Plasma RF Automatic Matcher
2. Automatic impedance adjustment, matching chamber plasma load
3. Reduce reflected power and protect RF power supply
4. Quick tuning to adapt to dynamic changes in process impedance
5. Built in power detection, collecting incident reflected power
6. Водяное охлаждение и отвод тепла, suitable for high-power working conditions
7. Hardware overcurrent and temperature protection, выход сигнализации о неисправности
8. Communication interface docking device master control
9. Compact module, easy to install on the cavity side
10. Anti plasma sputtering, продление срока службы
11. Support the use of etching and thin film process cavities
12. Process formula call, memory matching parameters
13. Может работать непрерывно в течение 7 х 24 часы в массовом производстве
14. Output fault codes for easy maintenance and troubleshooting
15. ASTeX AX3060-14 is compatible with microwave/radio frequency plasma systems
ASTeX AX3060-14 RF Matcher is used in semiconductor process equipment to achieve impedance matching between RF power supply and vacuum chamber plasma load, stabilizing plasma discharge.
Подробные фотографии продукта：
АХ3060-14
видео о продукте
Другие ссылки
PPC907BE 3BHE024577R0101 Пластина высокого напряжения
57619414 интерфейсная плата инвертора
DILA-XH11 contactor
Другие ссылки
HONEYWELL 8937-HN Модуль расширения выходов
БЕНТЛИВО 9200-06-02-10-00 Модуль монитора
DS200DCFBG1BNC Модуль газового двигателя внутреннего сгорания
