Brookhaven E22000032 Атмосферный транспортный робот
Руководство по продукту：
Brookhaven E22000032 Атмосферный транспортный робот
1. Манипулятор для перемещения полупроводниковых пластин в атмосферной среде с несколькими соединениями
2. Многоосный сервопривод, плавная траектория движения и быстрая реакция
3. Высокая повторяемость позиционирования обеспечивает выравнивание переноса пластин.
4. Однорычажная телескопическая вращающаяся конструкция, подходит для узких пространств внутри машины
5. Проектирование уровня чистого помещения для уменьшения загрязнения пластин частицами
6. Специальный захват для концов пластины для предотвращения фрагментов и царапин
7. Поддержка загрузки и выгрузки нескольких пластин и стыковки с несущими коробками FOUP.
8. Встроенное обнаружение столкновений, защита от быстрой остановки в случае прикосновения
9. Самодиагностика неисправностей, вывод кодов сигналов тревоги для удобства обслуживания
10. Поддержка связи по основной шине управления устройством и работа соединения с машиной
11. Программируемые параметры движения, подходит для процессов на нескольких рабочих станциях
12. Конструкция подавления вибрации, высокоскоростная работа пластин без отклонений
13. Оснащен двойными программными и аппаратными ограничениями для предотвращения механических столкновений.
14. Оборудование промышленного класса, обеспечивающее круглосуточную непрерывную работу производственной линии.
15. В основном используется для травления PVD.、 Клейкое покрытие и проявочная машина для переноса пластин
Робот Brookhaven E22000032 для атмосферной транспортировки представляет собой внутренний блок атмосферной обработки пластин в полупроводниковых машинах., который завершает автоматическую передачу пластин между держателем пластин и технологической станцией.
Подробные фотографии продукта：
E22000032
видео о продукте
Другие ссылки
Подруливающее устройство Nabtesco BTC-304
Модуль анализа IS220YAICS1A
Контроллер IS420UCSCH1A
Другие ссылки
ВМИВМЕ-7700 350-007700-111000 H Модуль газовой турбины
ВМИВМЕ-7807 ВМИВМЕ-7807-411001 Модуль газовой турбины
3BHE024747R0101 Модуль интерфейса вывода
