Радиочастотный согласующий модуль Daihen AMN-50E6-V

Руководство по продукту：

Радиочастотный согласующий модуль Daihen AMN-50E6-V
Введение: Daihen AMN-50E6-V — специализированный автоматический радиочастотный согласующий модуль частотой 60 МГц и мощностью 5 кВт для оборудования для травления полупроводников., подходит для использования в технологических камерах TEL.
Поддерживает полосу частот 60 МГц., номинальная выходная мощность 5 кВт
Быстрая автоматическая регулировка импеданса для уменьшения мощности радиочастотного отражения
Стандартный 50 Согласование импеданса Ом, стабильное зажигание плазмы
Встроенный прецизионный регулируемый конденсатор., высокая точность сопоставления
Встроенный отвод тепла с воздушным охлаждением, менее склонен к перегреву при работе с полной нагрузкой
Мониторинг в реальном времени значений прямой и отраженной мощности
Множественная защита от превышения мощности, перегрев, и короткое замыкание

Цифровой интерфейс связи, подключен к общей системе управления машиной
Copper RF channel with lower RF loss
Strong electromagnetic shielding, подходит для чистых условий мастерской
Стандартная установка в стойке, легкая разборка и обслуживание
24-круглосуточное бесперебойное серийное производство и стабильная работа
Equipped with fault self check and automatic alarm recording for abnormalities
Original factory program adapted to TEL series semiconductor equipment
Same model spare parts are universal and easy to replace on site
Заключение: Daihen AMN-50E6-V has high matching efficiency, долговечность и стабильность, and is a core RF spare part for semiconductor thin film and etching production lines.

Подробные фотографии продукта：

АМН-50Э6-В

видео о продукте

Другие ссылки

Honeywell CC-PAOX01模拟输出模块
PM825 3BSE010796R1处理器模块
GE PCH1026监测仪

Другие ссылки

SIEMENS 6DD1607-0AA2 application module
SAACKE HMI10-M REV203 Display and Operation Panel
PRO Electronics SC203-100A-002И-010-01К-05 Signal Regulator