Эдвардс PT66-1Z-000 Полупроводниковый турбомолекулярный насос

Руководство по продукту：

#Эдвардс PT66-1Z-000 Полупроводниковый турбомолекулярный насос

1. Высоковакуумная экстракция камеры покрытия пластины PVD
2. Оборудование для сухого травления поддерживает технологическую вакуумную среду.
3. Стабильная работа откачки камеры машины ионной имплантации.
4. Конструкция камеры анализа сканирующей электронной микроскопии в чистом вакууме
5. Операция внутренней вакуумной экстракции масс-спектрометрического детектора
6. Вакуумная откачка для оборудования атомно-слоевого осаждения ALD
7. Непрерывная стабилизация напряжения вакуумной камеры в процессе упаковки чипов
8. Вакуум и осушение камеры оборудования для нанесения оптических покрытий

9. Гелиевая масс-спектрометрическая система обнаружения утечек с высоковакуумной концевой откачкой
10. Полупроводниковая экспериментальная вакуумная камера третьего поколения накачки
11. Предварительная вакуумная экстракция камеры электронно-лучевой сварки
12. Поддержание вакуума в камере осаждения фотоэлектрических тонких пленок
13. ПТ66-1З-000 Вакуумно-термическая обработка и вакуумирование лабораторных материалов
14. Вакуумно-зондовая станция, испытательная камера, накачка и стабилизация давления
15. Это Эдвардс PT66-1Z.-000 Полупроводниковый турбомолекулярный насос чистый и не содержит масла, с плавной скоростью откачки, подходит для беспыльных процессов производства полупроводников
Общий, Эдвардс PT66-1Z-000 имеет сильную пыленепроницаемость, низкий рабочий шум, и может работать непрерывно и стабильно в течение длительного времени.

Подробные фотографии продукта：

ПТ66-1З-000

видео о продукте

Другие ссылки

OS7-ENI2-C24 Ethernet-модуль
3EC16773AAA03 материнская плата управления
76-0450-02 Модуль контроллера

Другие ссылки

8811-ИО-ДК 8811-ИО-ДК-01 Аналоговая коммуникационная карта
A6500-UM Карта общих измерений
Модуль питания BENTLY 60M100-00