NIKON 4S588-13 Шестиосное устройство измерения вибрации

Руководство по продукту：

Шестиосевое устройство измерения вибрации NIKON 4S588-13 представляет собой специализированный компонент мониторинга вибрации для оборудования Nikon для полупроводниковой литографии.
1 Размер стандартного модуля NIKON 4S588-13, литографическая машина может быть установлена ​​и закреплена непосредственно
Синхронизированный сбор данных о смещении и вибрации по шести осям., высокоточное обнаружение на уровне микрометра
3 встроенные схемы измерения изоляции для изоляции электромагнитных помех в чистых мастерских
4 трехосное ускорение + трехосная синхронная выборка положения, захват микровибраций в реальном времени
5. Низкая задержка передачи данных, быстрая обратная связь по аномальным сигналам вибрации машины
6 чувствительные чипы с низким энергопотреблением, стабильный контроль повышения температуры для длительной 24-часовой работы
7 широкая температурная адаптация, литографическая полость, высоко- и низкотемпературная технологическая среда, измерение без дрейфа
8 совместим с оборудованием для экспонирования пластин серии Nikon, не требуется дополнительная отладка или модификация

9. Встроенная защита от статического электричества и перенапряжения для защиты внутренних компонентов прецизионных датчиков.
10 интегрированная компактная структура, экономия места для установки в узком внутреннем пространстве литографической машины
11 поддерживает 24/7 непрерывный онлайн-мониторинг производства пластин
12 пыленепроницаемый герметичный корпус, подходит для работы в чистых цехах без пыли
13 стандартизированный сигнальный интерфейс, легкая разборка, калибровка, и операции по техническому обслуживанию
Анализ данных в реальном времени 14 поддержка компьютеров верхнего уровня для заблаговременного прогнозирования сбоев оборудования
15 NIKON 4S588-13 идеально соответствует параметрам оригинальной машины, с высокой совместимостью для замены
Шестиосное устройство измерения вибрации NIKON 4S588-13 обеспечивает точный и стабильный контроль., и является основным компонентом для ремонта и замены оборудования полупроводниковой литографии.

Подробные фотографии продукта：

4С588-13

видео о продукте

Другие ссылки

Сменный двигатель NSM4214 B24
502-03963-40 процессор
502-03651-90 Модуль симулятора ввода

Другие ссылки

CS513 3BSE000435R1 Промышленные запасы
MB510 3BSE002540R1 Модуль промышленного управления
СОВРЕМЕННЫЙ модуль MODHUB-16E