TMP-H3603LMC-A1 Турбомолекулярный насос
Руководство по продукту：
#TMP-H3603LMC-A1 Турбомолекулярный насос
1. Камера сухого травления полупроводников поддерживает среду сверхвысокого вакуума.
2. Стабильная накачка и стабилизация давления в процессе осаждения тонких пленок PECVD на пластины.
3. Камера нанесения покрытия методом PVD-напыления непрерывно обеспечивает чистый высокий вакуум.
4. Вакуумная конструкция камеры процесса атомно-слоевого осаждения ALD
5. Оборудование удаленной плазменной очистки с режимом вакуумной откачки
6. Длительное поддержание вакуума в технологической камере машины ионной имплантации
7. Высоковакуумная откачка детектора утечек масс-спектрометра с гелием на пластине
8. Процесс вакуумной откачки образцов полупроводников третьего поколения
9. Удаление водяного пара и примесных газов из полости машины для нанесения оптических покрытий
10. Приборы для сканирующей электронной микроскопии и масс-спектрометрического анализа со встроенной вакуумной экстракцией
11. Гарантия стабильного отрицательного давления в вакуумной камере упаковки чипсов
12. Вакуумный контроль полости производственной линии по осаждению фотоэлектрических тонких пленок
13. Вакуумирование камеры вакуумной термообработки лабораторного материала
14. Вакуумный зондовый стол, кристаллический круг, испытательная камера, стабилизация и откачка давления.
15. TMP-H3603LMC-A1 представляет собой молекулярный насос Shimadzu с магнитной левитацией и водяным охлаждением., который имеет безмасляную и чистую перекачку, чрезвычайно низкая вибрация, и подходит для полупроводников высокой чистоты и суровых условий работы.
Общий, TMP-H3603LMC-A1 устойчив к коррозии., работает плавно, и может работать непрерывно 24/7, обеспечение стабильной производительности сверхвысокого вакуума, необходимого для процесса.
Подробные фотографии продукта：
TMP-H3603LMC-A1
видео о продукте
Другие ссылки
644-0089-001-C Модуль защиты генератора
3Высокопроизводительный коммуникационный модуль DB18326AC
Интерфейсный модуль E5PQALUAAA
Другие ссылки
Контроллер PPD512A10-150000
PROSOFT PLX32-EIP-SIE Модуль коммуникационного шлюза
YOKOGAWA CP451-51 Модуль обработки
