НДС A-3000089 Встроенный регулятор давления

Руководство по продукту：

НДС A-3000089 Встроенный регулятор давления
Введение: VAT A-3000089 semiconductor vacuum integrated pressure controller, matched with vacuum valve for precise control of chamber vacuum degree.
Built in PID closed-loop pressure control, minimal vacuum fluctuations, обеспечение стабильности процесса
Integrated sensor and drive control, компактная структура
Quick response pressure regulation to suppress pressure shock caused by air extraction/intake
Real time collection of vacuum values, uploading to the main control system of the equipment
Signal isolation circuit to resist RF and motor electromagnetic interference
Equipped with multiple safety interlock protections for overvoltage, over limit, и короткое замыкание

Оборудован индикатором неисправности., quickly locate vacuum abnormalities
Подходит для травления полупроводников., покрытие, and high-purity vacuum chambers
Metal dustproof and corrosion-resistant shell, meeting the standards of dust-free workshop
Standard industrial communication interface, supporting remote parameter setting
Промышленные компоненты для широкого диапазона температур, длительная стабильная работа вокруг полости
Integrated filtering circuit to eliminate pressure signal clutter and jitter
Standardized installation holes, no need to change wiring for disassembly and replacement
Low hysteresis control, good repeatability of repeated processes
Factory vacuum calibration aging, long-term stable accuracy during operation
Заключение: VAT A-3000089 has precise pressure control and rapid response, making it a core pressure control spare part for semiconductor vacuum chambers.

Подробные фотографии продукта：

A-3000089

видео о продукте

Другие ссылки

Электрический серводвигатель AB 1326AS-B440G-21
Модуль контроллера NI CRI0-9073
ROLLS-ROYCE 5801-RRDIO15 Модуль сигнализации ввода/вывода WB

Другие ссылки

Модуль МВМЕ162-220
PM861K01 3BSE018105R1 Модуль управления
Модуль Ethernet PTQ-PDPMV1