مضخة أديكسن ATH1603M التربينية الجزيئية

دليل المنتج：

مضخة أديكسن ATH1603M التربينية الجزيئية
1. Magnetic levitation five axis bearing, no mechanical friction loss
2. High pumping speed to meet the requirements of large cavity vacuum technology
3. تبريد المياه وتبديد الحرارة, مناسبة للتشغيل المستمر لمدة 24 ساعة
4. Support multi posture installation and adapt to narrow spaces of devices
5. Small vibration amplitude, suitable for precision semiconductor equipment
6. Configure gas purging to slow down process gas corrosion
7. Integrated driver unit, supporting remote status monitoring

8. High compression ratio, capable of achieving ultra-high vacuum working conditions
9. Rated speed 39000rpm, quick start stop response
10. Complete self diagnostic function, fault alarm output
11. Compatible with DN200 and DN250 flange interfaces
12. ضوضاء تشغيل منخفضة, مناسبة للاستخدام في ورش العمل النظيفة
13. Outstanding hydrogen helium gas extraction capability
14. Need to be used in conjunction with a dry front-end pump as a complete set
15. مناسبة للنقش, طلاء, and ion implantation equipment
Adixen ATH1603M turbo molecular pump, magnetic levitation high pumping speed molecular pump, provides stable ultra-high vacuum for semiconductor equipment.

صور مفصلة للمنتج：

ATH1603M

فيديو المنتج

روابط أخرى

704.910.5 تبديل الموقف
704.910.4 شريط كتلة الاتصال
لوحة التحكم CDP312R 64378660G

روابط أخرى

EPRO PR9376/010-011 مستشعر أمامي
UNS2880B-P,V1 3BHE014967R0001 وحدة DCS
UNS2882A 3BHE003855R0001 وحدة DCS