Турбомолекулярный насос Adixen ATH1603M
Руководство по продукту：
Турбомолекулярный насос Adixen ATH1603M
1. Пятиосевой подшипник с магнитной левитацией, отсутствие потерь на механическое трение
2. Высокая скорость откачки, отвечающая требованиям вакуумной технологии с большой полостью.
3. Водяное охлаждение и отвод тепла, подходит для круглосуточной непрерывной работы
4. Поддержка установки в нескольких положениях и адаптация к узким пространствам устройств.
5. Малая амплитуда вибрации, подходит для прецизионного полупроводникового оборудования
6. Настройка продувки газом для замедления коррозии технологического газа
7. Встроенный блок драйверов, поддержка удаленного мониторинга состояния
8. Высокая степень сжатия, способен достигать условий работы в сверхвысоком вакууме
9. Номинальная скорость 39000 об/мин, быстрый старт-стоп
10. Полная функция самодиагностики, выход сигнализации о неисправности
11. Совместим с фланцевыми интерфейсами DN200 и DN250.
12. Низкий рабочий шум, подходит для использования в чистых мастерских
13. Выдающиеся возможности извлечения газообразного водорода и гелия
14. Необходимо использовать в сочетании с насосом с сухой подачей в виде полного комплекта.
15. Подходит для травления, покрытие, и оборудование для ионной имплантации
Турбомолекулярный насос Adixen ATH1603M, Молекулярный насос с магнитной левитацией и высокой скоростью откачки, обеспечивает стабильный сверхвысокий вакуум для полупроводникового оборудования.
Подробные фотографии продукта：
АТХ1603М
видео о продукте
Другие ссылки
704.910.5 переключатель положения
704.910.4 Контактная колодка
CDP312R 64378660G Панель управления
Другие ссылки
EPRO PR9376/010-011 передний датчик
UNS2880B-P,V1 3BHE014967R0001 Модуль РСУ
UNS2882A 3BHE003855R0001 Модуль РСУ
