إ 3156310-015 مولد الترددات اللاسلكية لأشباه الموصلات

دليل المنتج：

إ 3156310-015 مولد الترددات اللاسلكية لأشباه الموصلات
1. 13.56MHz solid-state RF power output for semiconductor plasma processes
2. 19 inch rack installation, easy disassembly and maintenance of the cabinet
3. Closed loop power control, stable output power due to load fluctuations
4. Detect forward and reflected power, identify load mismatch status
5. مجهزة بحماية الأجهزة المتعددة للجهد الزائد, التيار الزائد, ارتفاع درجة الحرارة, ودائرة كهربائية قصيرة
6. Supports continuous and pulsed RF output, with adjustable duty cycle
7. تبريد المياه وتبديد الحرارة, supporting long-term high-power continuous operation
8. The panel can view operational information such as power, fault codes, إلخ

9. The communication interface supports remote control and data reading from the upper computer
10. Store fault logs for easy traceability and troubleshooting of equipment abnormalities
11. Low harmonic output, reducing electromagnetic interference to surrounding circuits
12. Electrical isolation of signal interface to resist on-site electromagnetic interference
13. Suitable for semiconductor equipment cabinet power supply, عملية مستقرة
14. Three proof protection, adapted to high temperature and vibration conditions inside the equipment
15. Need to be paired with an RF matching device to adapt to etching and deposition processes
إ 3156310-015 semiconductor RF generator, plasma RF power source, used in wafer etching, ترسيب الأغشية الرقيقة, and plasma cleaning equipment.

صور مفصلة للمنتج：

3156310-015

فيديو المنتج

روابط أخرى

3وحدة التحكم BA23076AAD
3لوحة منفذ الشبكة FE51034AGAC
ASF4628BBS7-07 لوحة طاقة تيار مستمر

روابط أخرى

2364-SPM03A Control circuit module
MEN A201SR04 01A201S12 Semiconductor module
وحدة المعالج CI867K01 3BSE043660R1