АЕ 3156310-015 Полупроводниковый радиочастотный генератор
Руководство по продукту：
АЕ 3156310-015 Полупроводниковый радиочастотный генератор
1. 13.56Выходная твердотельная ВЧ-мощность МГц для процессов полупроводниковой плазмы
2. 19 установка дюймовой стойки, легкая разборка и обслуживание шкафа
3. Регулирование мощности с обратной связью, стабильная выходная мощность благодаря колебаниям нагрузки
4. Обнаружение прямой и отраженной мощности, определить статус несоответствия нагрузки
5. Оснащен множеством аппаратных средств защиты от перенапряжения., сверхток, перегрев, и короткое замыкание
6. Поддерживает непрерывный и импульсный радиочастотный выход., с регулируемым рабочим циклом
7. Водяное охлаждение и отвод тепла, поддержка долгосрочной непрерывной работы высокой мощности
8. Панель может просматривать рабочую информацию, такую как мощность, коды неисправностей, и т. д.
9. Интерфейс связи поддерживает дистанционное управление и чтение данных с верхнего компьютера.
10. Храните журналы неисправностей для облегчения отслеживания и устранения неисправностей оборудования.
11. Низкий уровень гармоник на выходе, снижение электромагнитных помех в окружающих цепях
12. Электрическая изоляция сигнального интерфейса для защиты от электромагнитных помех на объекте.
13. Подходит для блока питания шкафа полупроводникового оборудования., стабильная работа
14. Три доказательства защиты, адаптирован к условиям высоких температур и вибрации внутри оборудования
15. Требуется сопряжение с устройством РЧ-согласования для адаптации к процессам травления и осаждения.
АЕ 3156310-015 полупроводниковый радиочастотный генератор, плазменный источник питания RF, используется при травлении пластин, нанесение тонкой пленки, и оборудование плазменной очистки.
Подробные фотографии продукта：
3156310-015
видео о продукте
Другие ссылки
3Модуль контроллера BA23076AAD
3FE51034AGAC Плата сетевого порта
ASF4628BBS7-07 Плата питания постоянного тока
Другие ссылки
2364-SPM03A Модуль цепи управления
МУЖЧИНЫ A201SR04 01A201S12 Полупроводниковый модуль
Модуль процессора CI867K01 3BSE043660R1
