АЕ 3156310-015 Полупроводниковый радиочастотный генератор

Руководство по продукту：

АЕ 3156310-015 Полупроводниковый радиочастотный генератор
1. 13.56MHz solid-state RF power output for semiconductor plasma processes
2. 19 установка дюймовой стойки, легкая разборка и обслуживание шкафа
3. Closed loop power control, stable output power due to load fluctuations
4. Detect forward and reflected power, identify load mismatch status
5. Оснащен множеством аппаратных средств защиты от перенапряжения., сверхток, перегрев, и короткое замыкание
6. Supports continuous and pulsed RF output, with adjustable duty cycle
7. Водяное охлаждение и отвод тепла, supporting long-term high-power continuous operation
8. The panel can view operational information such as power, fault codes, и т. д.

9. The communication interface supports remote control and data reading from the upper computer
10. Store fault logs for easy traceability and troubleshooting of equipment abnormalities
11. Low harmonic output, reducing electromagnetic interference to surrounding circuits
12. Electrical isolation of signal interface to resist on-site electromagnetic interference
13. Suitable for semiconductor equipment cabinet power supply, стабильная работа
14. Three proof protection, adapted to high temperature and vibration conditions inside the equipment
15. Need to be paired with an RF matching device to adapt to etching and deposition processes
АЕ 3156310-015 semiconductor RF generator, plasma RF power source, used in wafer etching, thin film deposition, and plasma cleaning equipment.

Подробные фотографии продукта：

3156310-015

видео о продукте

Другие ссылки

3Модуль контроллера BA23076AAD
3FE51034AGAC Плата сетевого порта
ASF4628BBS7-07 Плата питания постоянного тока

Другие ссылки

2364-SPM03A Модуль цепи управления
МУЖЧИНЫ A201SR04 01A201S12 Полупроводниковый модуль
Модуль процессора CI867K01 3BSE043660R1