مضخة إدواردز NR5150000XS الجافة

دليل المنتج：

مضخة إدواردز NR5150000XS الجافة
1. Edwards NR5150000XS oil-free dry vacuum pump
2. Oil free structure to avoid oil pollution in the process chamber
3. Configure gas town function, capable of extracting water vapor and condensable gases
4. High pumping speed, achieving rapid establishment of rough vacuum
5. Built in particle filter to block dust from entering the pump chamber
6. الاتصالات RS485, supports remote monitoring
7. أكثر من درجة الحرارة وحماية الزائد, fault alarm output
8. تبريد الهواء تبديد الحرارة, مناسبة ل 7 × تشغيل متواصل على مدار 24 ساعة

9. Excellent sealing structure to prevent gas backflow
10. هيكل مدمج, convenient for equipment integration and installation
11. Low vibration and low operating noise
12. Long maintenance cycle, تقليل تكاليف التشغيل والصيانة
13. Can be used as a front-end pump for turbomolecular pumps
14. Suitable for semiconductor etching and thin film process equipment
15. Edwards NR5150000XS is resistant to corrosive process gases
Edwards NR5150000XS dry pump, a front-end pump for semiconductor vacuum systems, is used to quickly establish rough vacuum in process chambers.

صور مفصلة للمنتج：

NR5150000XS

فيديو المنتج

روابط أخرى

UAC383AE01 HIEE3008900001 وحدة الإدخال
UAC389AE02 HIEE30888R0002 وحدة تحكم منطقية
محول LWN2660-6

روابط أخرى

PPC380AE102 HIEE300885R0102 Sequence control module
وحدة التحكم PPC905AE101 3BHE014070R0101
وحدة التحكم PPCC322BE HIEE300900R0001