Сухой насос Edwards NR5150000XS

Руководство по продукту：

Сухой насос Edwards NR5150000XS
1. Безмасляный сухой вакуумный насос Edwards NR5150000XS
2. Безмасляная структура, позволяющая избежать загрязнения маслом технологической камеры.
3. Настройка функции газового города, способен извлекать водяной пар и конденсирующиеся газы
4. Высокая скорость откачки, достижение быстрого установления грубого вакуума
5. Встроенный фильтр частиц предотвращает попадание пыли в камеру насоса.
6. Связь RS485, поддерживает удаленный мониторинг
7. Защита от перегрева и перегрузки, выход сигнализации о неисправности
8. Отвод тепла с воздушным охлаждением, подходит для 7 × 24-часовая непрерывная работа

9. Отличная уплотняющая структура для предотвращения обратного потока газа.
10. Компактная структура, удобен для интеграции и установки оборудования
11. Низкая вибрация и низкий рабочий шум
12. Длительный цикл обслуживания, снижение затрат на эксплуатацию и техническое обслуживание
13. Может использоваться как предварительный насос для турбомолекулярных насосов.
14. Подходит для травления полупроводников и оборудования для обработки тонких пленок.
15. Edwards NR5150000XS устойчив к агрессивным технологическим газам.
Сухой насос Edwards NR5150000XS, входной насос для полупроводниковых вакуумных систем, используется для быстрого создания грубого вакуума в технологических камерах.

Подробные фотографии продукта：

NR5150000XS

видео о продукте

Другие ссылки

UAC383AE01 HIEE3008900001 Модуль ввода
Логический контроллер UAC389AE02 HIEE30888R0002
Преобразователь LWN2660-6

Другие ссылки

PPC380AE102 HIEE300885R0102 Модуль последовательного управления
PPC905AE101 3BHE014070R0101 модуль управления
PPCC322BE HIEE300900R0001 модуль управления