مضخة التفريغ الجافة لأشباه الموصلات من كاشيياما NV60N-10
دليل المنتج：
مضخة التفريغ الجافة لأشباه الموصلات من كاشيياما NV60N-10
1. Multi stage Roots dry oil-free structure, outputting clean rough vacuum
2. سرعة ضخ مستقرة, used as a front-end pump in conjunction with molecular pumps
3. تبريد الهواء تبديد الحرارة, no need for cooling water, suitable for equipment layout
4. Equipped with gas stabilization function, capable of handling water vapor and some weakly corrosive gases
5. The rotor operates without contact and there are no worn parts inside
6. Low vibration amplitude reduces interference with precision semiconductor cavities
7. Built in air intake filter to block solid particles from entering the pump chamber
8. Equipped with anti backflow valve, stop the machine to avoid reverse contamination of the chamber by oil and gas
9. Support communication interface for remote reading of pump operation status and alarms
10. هيكل عام مدمج, توفير مساحة التثبيت داخل المعدات
11. مكونات من الدرجة الصناعية تدعم التشغيل المستمر لخطوط الإنتاج على المدى الطويل
12. The cavity is corrosion-resistant and suitable for exhaust conditions in etching and coating processes
13. التشخيص الذاتي للخطأ, outputting fault codes for easy on-site troubleshooting
14. Long maintenance cycle, reducing the frequency of production line downtime and maintenance
15. Can be combined with various types of turbo molecular pumps to form a complete vacuum unit
Kashiyama NV60N-10 semiconductor dry vacuum pump, Kashiyama Industrial dry pump, provides stable pre stage rough vacuum for semiconductor vacuum chambers.
صور مفصلة للمنتج：
NV60N-10
فيديو المنتج
روابط أخرى
UDC920BE01 3BHE034863R0001 عاكس الجهد العالي
مفتاح التشغيل SZ4127.000
UFC911B106 3BHE037864R0106 Control Board
روابط أخرى
PCIE-5565-PIORC PCIE-5565PIORC-100000 بطاقة الذاكرة العاكسة
IDEC PF3S-PSA2 وحدة واجهة الإخراج
NI PXI-8423 Output interface module
