مجموعة الرفع LAM YSC-BSA01038PL

دليل المنتج：

مجموعة الرفع LAM YSC-BSA01038PL
مقدمة: LAM original wafer lifting assembly, used for vertical transfer of wafers in etching machines
Screw precision transmission, high accuracy in lifting and positioning
هيكل مختوم خالي من الغبار, suitable for clean process environment
Multiple sets of limit sensors, anti impact protection for wafers
Servo drive, بداية سلسة وتوقف دون اهتزاز
Adjustable lifting speed, suitable for different process rhythms
Equipped with vacuum adsorption, the wafer can be picked up and placed without scratching
Complete signal feedback, interface with equipment master control

Multiple safety protections for overload and timeout
Lightweight and compact structure, saving machine space
Wear resistant guiding components, عملية مستقرة على المدى الطويل
Anti particle design reduces chamber pollution
Integrated assembly, من السهل تفكيكها وصيانتها
Wide temperature stability, دعم 7 × تشغيل متواصل على مدار 24 ساعة
Original LAM etching equipment with good compatibility
Fault self check prompt, استكشاف الأخطاء وإصلاحها بسرعة
خاتمة: LAM YSC-BSA01038PL elevator assembly accurately completes wafer lifting and transportation, ensuring stable operation of semiconductor processes

صور مفصلة للمنتج：

YSC-BSA01038PL

فيديو المنتج

روابط أخرى

وحدة الطاقة CI860K01 3BSE032444R1
وحدة الواجهة CI871AK01 3BSE092693R1
وحدة الإدخال VE5010

روابط أخرى

IC697CPM790-GD Gas turbine module
IS220PSVOH1B Gas turbine card
IS220UCSAH1A Gas turbine card