Электрогенератор Daihen 3D80-000826-V4
Руководство по продукту：
3D80-000826-V4 is a 1kW/13.56MHz radio frequency (РФ) power generator manufactured by Daihen (Osaka Transformer) for TEL (Tokyo Electronics) in Japan. The model body is RGA-10D-V, specifically designed for semiconductor plasma processes.
основные параметры
Модель: 3D80-000826-V4 (RGA-10D-V)
Brand: Daihen (Japan)
Тип: Solid state RF Generator
Выходная частота: 13.56 МГц (industry standard)
Выходная мощность: 1000Вт (1кВт), adjustable
Входной источник питания: three-phase 208VAC, 50/60Гц
Метод охлаждения: air cooling
Сценарии применения: semiconductor etching, deposition, plasma cleaning
Weight/Size: Approximately 113kg, standard cabinet style
Основные особенности (15 points)
1kW/13.56MHz standard RF output, compatible with mainstream semiconductor plasma processes.
Daihen’s original solid-state design provides high stability and long lifespan.
TEL OEM number, compatible with TEL equipment, сильная совместимость.
Accurate and adjustable power to meet different process window requirements.
Built in frequency automatic locking, защита от помех, high frequency stability.
Интегрированное перенапряжение, сверхток, перегрев, и защита от короткого замыкания, безопасный и надежный.
Отвод тепла с воздушным охлаждением, simple structure, простота обслуживания.
Copper exposed heat dissipation with high heat dissipation efficiency.
Стандартная установка шкафа, compatible with semiconductor production line layout.
Широкий диапазон температур промышленного класса, подходит для чистых помещений.
Low harmonic distortion, stable and uniform plasma ignition.
Remote control interface, supporting automation system integration.
Mature mass-produced models, sufficient market spare parts, and convenient maintenance.
Made in Japan, with exquisite craftsmanship and reliable long-term continuous operation.
Compatible with TEL etching/deposition equipment, highly recognized in the semiconductor industry.
Подробные фотографии продукта：
G353-81-S
видео о продукте
Другие ссылки
SC560 3BSE008105R1监测模块
CI546 3BSE012545R1控制模块
Emerson 1C31222G01控制模块
Другие ссылки
Одноканальный контроллер GE ENERGY HYDRAN H201Ci-1
Модуль питания CI860K01 3BSE032444R1
Автоматический выключатель GE TB43225AF14
